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真空氣氛爐的開機真空

　1.啟動機械泵，打開旁路閥，觀察羅茨泵軸不轉后，再啟動羅茨泵，開主路閥。

　　2.1小時后關閉旁路閥，開高真空閥，對系統抽高真空。